RTP 桌面式

m-RTP-BP1
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( M-RTP-BP1 )是一款桌面式RTP设备,工艺涵盖了离子注入激活、金属合金、多晶硅退火、RTO、RTN等快速热处理工艺，应用领域包含Si基工艺、化合物（包含GaN&GaAs&SiC)、MEMS等。采用卤素灯管加热，分成10个区，每个区灯管输出功率可调。