RTP 双腔

RTP200-BP2
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RTP200-BP2是一款全自动双腔RTP设备,主要工艺涵盖离子注入激活、掺杂退火、RTO、RTN等，应用领域包含Si基工艺、化合物（包含GaN&GaAs&SiC)、MEMS等。采用卤素灯管加热，每根灯管输出功率单独控制。