RTP 单腔

RTP200-BP1
产品介绍 产品特点 技术参数 产品视频
RTP200-BP1是一款单腔RTP设备,工艺涵盖了离子注入激活、金属合金、多晶硅退火、RTO、RTN等快速热处理应用领域包含Si基工艺、化合物（包含GaN&GaAs&SiC)、MEMS等。采用卤素灯管加热，每根灯管可单独控制。